Для студентов, обучающихся по направлениям подготовки "Наноинженерия" и "Электроника и наноэлектроника" в рамках дисциплины "Термовакуумные процессы и оборудование". Материал пособия можно использовать студентам и аспирантам соответствующего профиля при выполнении научно-исследовательских работ.