Технология производства электровакуумных приборов. Термовакуумная обработка. Экспериментальное сопровождение технологического процесса

Рассмотрены физико-химические основы и проанализирован процесс термовакуумной обработки электровакуумных приборов. Приведено описание специфических особенностей магнетрона как электровакуумного прибора для генерирования высокочастотного излучения. Перечислены особые свойства
используемых материалов. Даны характеристики и указано своеобразие операций технологического процесса термовакуумной обработки магнетронов.
Для студентов, обучающихся по направлениям подготовки &
quot;
Наноинженерия&
quot; и &
quot;
Электроника и наноэлектроника&
quot; в рамках дисциплины &
quot;
Термовакуумные процессы и оборудование&
quot;. Материал пособия можно использовать студентам и аспирантам соответствующего профиля при выполнении научно-исследовательских работ.