Технология полупроводниковых материалов

Представлена технология и техника производства полупроводниковых материалов, имеющих широкое применение в электронной промышленности. Рассмотрены основные физические и химические свойства элементарных полупроводников и компонентов бинарных соединений, необходимые для обоснования рациональных приемов их глубокой очистки, синтеза и получения в виде массивных монокристаллов. Приведены традиционные и новейшие технологические схемы и технические решения, даны краткие описания оборудования, позволяющие формировать оптимальные схемы производства с учетом требований к качеству продукции. Пособие предназначено для студентов вузов, обучающихся по магистерской программе "Современные проблемы материаловедения" направления подготовки магистров "Материаловедение и технология новых материалов". Оно также может быть использовано при обучении в системах повышения квалификации и в учреждениях дополнительного профессионального образования.