quot;
Электроника и наноэлектроника&
quot;. Впервые технологии микро- и наноэлектроники рассмотрены неразрывно с технологиями высокочистых веществ и материалов в основополагающем ключе &
quot;
высокая чистота материала - высокое качество продукции&
quot;. Рассмотрены основные процессы получения высокочистых веществ и материалов на их основе, процессы и технологии получения эпитаксиальных структур кремния, арсенида галлия и др., технологии их обработки при переходе к компонентам электронной техники. Пособие может быть использовано студентами всех форм обучения, в том числе и по смежным специальностям, как для самостоятельной работы, так и выполнения курсовых проектов, а также в качестве конспекта лекций по курсу &
quot;
Технология материалов электронной техники&
quot;. Содержит перечень контрольных вопросов для оценки усвоения студентами материала.
.