Технология интегральных микросхем

Изложены вопросы технологии производства интегральных микросхем. Основное внимание уделено вопросам формирования структуры полупроводниковых микросхем. Рассмотрена технология получения тонких пленок в гибридных интегральных схемах.
Для студентов, обучающихся по направлению подготовки 11.03.03 &
quot;
Конструирование и технология электронных средств&
quot;, профиль &
quot;
Конструирование и технология электронных средств&
quot;.