Книга станет незаменимым справочным пособием для студентов, аспирантов и профессоров в области электро-, механико-, химико-инженерии и физики. Инженеры и исследователи микроэлектронной промышленности, включая разработчиков микросистем, также найдут эту книгу весьма полезной.